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| プリント基板製造工程で、レジスト上の保護フィルムを剥離する装置です。 |
| 粘着テープを用い、クリーンに剥離できます。 |
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| ガラス基板製造工程で、レジスト等の保護フィルムを露光後に剥離する装置です。 |
| 粘着テープを用いて、ガラス基板に対してもクリーンに剥離できます。 |
| 基板を受取から排出まで一直線に流し、保護フィルムを剥離します。 |
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| ガラス基板製造工程で、レジスト等の保護フィルムを露光後に剥離する装置です。 |
| 粘着テープを用いて、ガラス基板に対してもクリーンに剥離できます。 |
| 基板を受取り後装置内部（反操作側）に引込み、保護フィルム剥離後基板をライン |
| に戻します。 |
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| 数多くの納入実績を有する信頼性の高い真空中ウエハ搬送用ロボットです。 |
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| デュアルハンド方式でスループットの向上が可能です。 |
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| ウエハ端面を機能的に保持し、ウエハ裏面への傷やパーティクルの |
| 発生を低減した信頼性の高い搬送を行います。 |
| シングルアーム時反転機能のオプション対応も可能です。 |
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| オープンカセット、ＦＯＳＢ、ＦＯＵＰ間のウエハ移し換えで使用戴けます。 |
| 真空吸着方式、エッジグリップ方式、バーコードリーダ、ＦＦＵ、イオナイザ等 |
| 豊富なオプション対応も可能です。 |
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| Ｃｌａｓｓ１対応のミニエン方式の搬送装置です。 |
| ウエハＩＤリーダ、光Ｉ/Ｏ等のオプション対応も可能です。 |
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| Ｃｌａｓｓ１対応のミニエン方式の搬送装置です。 |
| エッジグリップ方式、ウエハＩＤリーダ、カセットバーコードリーダ、 |
| 光Ｉ/Ｏ等のオプション対応も可能です。 |
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| ガラス基盤上の保護フィルムを剥離する装置で、クリーンで高スループットと |
| 高い信頼性の剥離を実現しました。 |
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